Meest geavanceerde chipmachine ter wereld
Bij Imec in Leuven is vandaag de opbouw gestart van een nieuwe High NA EUV-lithografiemachine van de Nederlands fabrikant ASML. Met de nieuwe machine zullen chipfabrikanten de volgende generatie van chips kunnen testen in het labo van Imec.
In die nieuwe generatie van chips zullen structuren en componenten aangebracht worden op ångström schaal. Een ångström is 10 tot de -10-de meter en dus tien keer kleiner dan een nanometer – wat momenteel de schaal is waarin gewerkt wordt voor het design van computerchips. Met de nieuwe schaal wordt de absolute limiet bereikt van wat technisch haalbaar is voor het design van chips omdat men dan op de schaal van atoomafstanden komt.
Lthografie is de methode die gebruikt wordt om structuren op een siliciumplaat aan te brengen. Dat dit in de nieuwe machine op een hogere resolutie kan dan voorheen is enerzijds te danken aan het gebruik van nieuwe, krachtige lasers met licht van korte golflengte (13,5nm). Anderzijds wordt gebruikgemaakt van perfect gepolijste spiegels om het licht met ongeziene precisie te weerkaatsen wat de hoeveelheid licht op de lenzen bepaalt. Voor de specialisten: de nieuwe machine biedt een numerieke opening (NA) van 0.55 waar dat in de vorige generatie nog 0.33 was. De golflengte van de lasers was in het verleden ook al 13,5nm. In een eerder artikel in het vakblad Semiconductor Digest.zegt Imec van met de nieuwe machine een resolutie van 16nm te halen. Daarmee worden concrete stappen gezet richting ångström schaal.
Imec heeft overigens bijgedragen tot de ontwikkeling van de nieuwe lithografiemachine van ASML. Daarmee werd gestart in 2024 in het gezamenlijke High NA EUV lab van ASML en imec in Veldhoven.
Volgens een persbericht van Reuters kost de nieuwe machine 400 miljoen dollar. Bij Imec zal ze ingepast worden in de nieuwe NanoIC pilootlijn – een project waarmee een totale investering van 2,5 miljard euro gemoeid is. Het project wordt onder meer gesteund via de EU Chips Act.
Imec geldt wereldwijd als een van de absolute topspelers in micro-elektronica. Van over de hele wereld komen chipfabrikanten en leveranciers van machines en materialen naar de clean room van Imec om nieuwe chips te ontwikkelen.
© Productivity.be, 18/03/2026, Foto: imec